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半導體(ti) 行業(ye) 一直以來都處於(yu) 技術創新的前沿。在該行業(ye) 中，塗膠機是光刻前道中一項至關(guan) 重要的設備，它負責光刻膠的塗覆和顯影操作，為(wei) 光刻機的後續曝光過程提供必要的輸入。而在光刻塗膠顯影設備技術中存在一個(ge) 重要難題，即如何確保膠膜的塗覆均勻性。對於(yu) 眾(zhong) 多的設備廠商和研究人員而言，精確供膠是實現膠膜厚度和均勻性高效控製的關(guan) 鍵。因此，在塗膠工藝中，準確地供應膠液成為(wei) 了一個(ge) 備受關(guan) 注的問題。
為(wei) 了滿足高精度塗膠的要求，德國彗諾HNPM微量齒輪泵被設計用來穩定供給光刻膠和丙酮等材料。該微量齒輪泵能夠實現對供膠量、供膠速度等參數的精確控製，並與(yu) 可編程控製器配合使用，以實現均勻塗覆的塗膠效果。通過利用回縮效應，該技術能夠實現無滴注膠，從(cong) 而提高塗膠的均勻性和產(chan) 品的良品率。
德國彗諾HNPM微量齒輪泵以其出色的精確度和穩定可靠性而著稱。在芯片塗膠機中，供膠泵扮演著至關(guan) 重要的角色，用於(yu) 輸送光刻膠、丙酮等液體(ti) 。
傳(chuan) 統泵在處理高粘度或微量液體(ti) 時的能力有限，並且由於(yu) 控製精度不足而可能導致泄漏或輸送量過少的情況。而德國彗諾HNPM微量齒輪泵能夠高效快速地輸送廣泛粘度和具有腐蝕性的液體(ti) ，確保光刻膠的準確輸送，提高塗膠的質量。該泵的結構緊湊，體(ti) 積小巧，適應各種安裝環境，為(wei) 塗膠機的設計帶來了極大的靈活性。
德國彗諾HNPM微量齒輪泵的兩(liang) 個(ge) 偏心輪在旋轉的時候通過擺線針輪齧合，以保證在任何時候係統都有幾個(ge) 密封的泵室，齧合齒的尺寸比例大致為(wei) 6/7，可產(chan) 生6個(ge) 密封的泵室。
德國彗諾HNPM微量齒輪泵的軸被連接到內(nei) 部轉子，由精確控製的電動馬達提供動力。外部轉子安裝可轉動的基座，並通過內(nei) 部轉子驅動。
隨著偏心軸轉子的轉動，進料側(ce) 的泵室空間增加，出料側(ce) 的泵室空間減小，並且因此產(chan) 生一個(ge) 均相和低脈動流量，此時同時也會(hui) 產(chan) 生幾個(ge) 相同的泵室，在運轉過程中，泵的輸送方向是可逆的。
憑借其精確度、穩定性、處理能力和靈活性，在半導體(ti) 行業(ye) 中塗膠工藝中發揮越來越重要的作用。它的先進技術和可靠性能使得生產(chan) 廠商和研究人員能夠更好地控製液體(ti) 輸送過程，提高產(chan) 品質量、生產(chan) 效率和工藝穩定性。
