在線麵測厚/麵測油汙/麵測色方案：SPECIM高光譜相機

Specim FX係列高光譜相機是專(zhuan) 為(wei) 工業(ye) 應用而設計的高光譜相機，可根據目標樣品的化學成分獲得可靠的分類結果。其高幀頻可滿足高速工業(ye) 應用的需求、堅固的結構與(yu) 小巧的尺寸則便於(yu) 現場的靈活安裝。

產品特征

非接觸、非破壞性、在線式

高速成像

寬光譜波段可選

體(ti) 積小，適合多種空間

具有MROI功能的100% 成像覆蓋率

無需校準即可互換

兼容現有和新係統

重量輕，便於(yu) 運輸

隨時隨地進行軟件更新

工作原理

Specim工業(ye) 高光譜相機，采用線掃描方式，通過傳(chuan) 送物體(ti) 可以檢測整個(ge) 物體(ti) 表麵，相機逐行掃描沿一個(ge) 方向移動的樣品，記錄被掃描線上每個(ge) 像素的光譜信息。

產品應用

1. 在線整麵測油汙

電極材料（銅箔、鋁箔）油汙清潔度檢測

Specim工業(ye) 高光譜相機可以檢測電極材料微小的油滴或汙染情況，油汙分布可視化。

2. 在線整麵測厚

（1）薄膜厚度檢測

Specim FX17高光譜相機可以檢測整個(ge) 薄膜或塗層的厚度。 在每條線掃描數據中，光譜數據能覆蓋薄膜的整個(ge) 寬度，並且有很高的空間分辨率。

（2）晶圓表麵汙染檢測

Specim高光譜相機可以檢測汙染物，精確測量薄膜厚度（抗蝕劑、氧化物、氮化物等）的麵積分布以及表麵狀況參數。

3. 在線整麵測色

Specim高光譜相機在色彩測量準確度上優(you) 於(yu) 人眼和RGB相機，可以采集目標物的反射光譜信息並使用Lab顏色空間來分析光譜信息，可用於(yu) 精確識別和量化物體(ti) 中存在的顏色，包括人眼可能無法察覺的細微顏色變化。在可見光區域，可以實現非常高的顏色分離度。Specim高光譜相機可以非破壞式測量色彩並進行快速實時分析，自動化工作流程，支持測量顏色、對比度和亮度。