塗層膜厚在線麵掃測量方案：SPECIM高光譜相機

對塗層厚度的精確性測量非常要求，塗層太薄太厚，都會(hui) 影響性能，例如在鋰電池行業(ye) ，鋰電池隔膜太薄可能會(hui) 造成短路，太厚會(hui) 影響電池的能量密度，因此在線精確測量塗層整麵厚度至關(guan) 重要。不同行業(ye) 對膜厚以及對應的膜厚精度要求各有不同，例如，鋰電塗料行業(ye) ，往往要求膜厚在10um到2000um之間，精度要求小於(yu) 1um；而在半導體(ti) 行業(ye) ，如太陽能，芯片等的膜厚，要求在1nm到100nm之間，精度要求高，在0.1nm到1nm之間。

單點測量的局限性

傳(chuan) 統單點厚度測量，隻能測量測量塗層單個(ge) 點的塗層厚度，在實際應用過程中，無法快速了解整麵塗層的厚度，生產(chan) 效率低。

塗層膜厚在線麵掃測量方案：SPECIM高光譜相機

使用SPECIM FX17推掃式高光譜成像係統，可以及時檢測塗層整個(ge) 膜厚，在每條線掃描數據中，光譜數據能覆蓋整個(ge) 塗層的厚度，有助於(yu) 監測保護塗層厚度及其分布均勻性。

測試案例：

使用單點測試方式對3種塗層進行測量，如下圖所示：

使用SPECIM FX17高光譜相機對3種塗層厚度進行測量。

測量原理如下：

使用SPECIM FX17高光譜相機直接測量樣品膜厚，無需借助任何夾具。

使用峰值計數法計量膜厚，折射率暫定為(wei) 1.6。

膜厚計算結果包含了與(yu) 平麵度相關(guan) 的誤差，例如薄膜的傾(qing) 斜變形。

測量結果如下：

與(yu) 單點厚度測量儀(yi) 相比，采用高光譜成像相機測量塗層厚度，可以提供塗層膜厚檢測的效率和質量控製，對塗層厚度進行100%在線檢測，減少返工和次品率。

FG31測量結果

FG65測量結果

FP61測量結果

行業應用：

半導體(ti) 測厚：

光刻膠納米級厚度測量

半導體(ti) 芯片封裝多層膜厚測量

新能源行業(ye) ：

鋰電池隔膜整麵在線微米級測厚

電子行業(ye) ：

3C電子顯示觸摸屏膜層測厚

光學加工行業(ye) ：

光學鏡片/鍍膜元件測厚

包裝行業(ye) ：

薄膜厚度生產(chan) 線實時測量，膜厚監控

汽車行業(ye) ：

汽車車身整麵測厚

車身鍍層厚度測量

發動機缸體(ti) 、活塞等關(guan) 鍵零部件表麵膜厚測量

建築行業(ye) ：

保溫板材/裝飾板材測厚