ZEM係列台式掃描電鏡選型建議

在選擇ZEM台式掃描電鏡的時候，如何根據自己的需要選擇合適的型號呢？本文將介紹ZEM係列台式掃描電鏡不同型號各自的優(you) 勢，用戶可根據自己的測試需要選擇合適的型號。

ZEM係列台式掃描電鏡有ZEM  Ultra場發射台式掃描，ZEM 20台式掃描電鏡，ZEM Pro單晶燈絲(si) 電鏡，ZEM 18台式掃描電鏡，ZEM 15C台式掃描電鏡。

這幾種型號主要有以下的區別：

從(cong) 核心技術來說：ZEM Ultra采用的是肖特基場發射電子槍技術；ZEM Pro使用的是單晶絲(si) 技術；ZEM 20采用的是經典鎢燈絲(si) 技術；ZEM 18采用的是預對鎢燈絲(si) 技術，10M信號帶寬，多級防震技術；ZEM 15C采用的是預對鎢燈絲(si) 技術，多級防震技術。

從(cong) 分辨率上來說：ZEM Ultra可放大50萬(wan) 倍；ZEM Pro可放大36萬(wan) 倍；ZEM 20可放大36萬(wan) 倍；ZEM 18可放大20萬(wan) 倍；ZEM 15C可放大15萬(wan) 倍。

從(cong) 產(chan) 品特色上來說，ZEM Ultra可用於(yu) 高精度半導體(ti) 研究，分辨率小於(yu) 2.5nm，可支持原位實驗；ZEM Pro可用於(yu) 工業(ye) 檢測，分辨率可達3nm，超大樣品倉(cang) ，提高檢測效率；ZEM 20換樣時間僅(jin) 需30秒，可選配五軸樣品台；ZEM 18可90秒抽真空，成像快速流暢；ZEM 15C即插即用，操作簡單。