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光刻機

電子束光刻機

電子束光刻機

電子束光刻機采用場發射電子槍，配合一體化的高速圖形發生係統實現對半導體晶圓的高速、高分辨光刻。...

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無掩模光刻機

無掩模光刻機

無掩模光刻機不需要使用傳統的物理掩膜版來轉移電路圖形，而是通過計算機控製的高精度光束直接在感光材料上進行掃描曝光...

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