

ZEM20台式掃描電鏡采用更加寬泛的加速電壓,1KV步進,最高放大 36 萬(wan) 倍,分辨率可達5nm。樣品台減速模式下,弱導電樣品無需噴金也能實時觀察。超大樣品倉(cang) 可集成多種原位拓展平台,滿足不同實驗及檢測需求。
ZEM20台式掃描電鏡采用更加寬泛的加速電壓,1KV步進,最高放大 36 萬(wan) 倍,分辨率可達5nm。樣品台減速模式下,弱導電樣品無需噴金也能實時觀察。超大樣品倉(cang) 可集成多種原位拓展平台,滿足不同實驗及檢測需求。

▲真空分隔技術 :采用獨特真空設計,電子槍和樣品倉(cang) 真空分離,換樣時間小於(yu) 1min。
▲ 超大樣品倉(cang) :提供了更大的樣品存儲(chu) 空間,方便用戶操作。
▲ 超高分辨率:極限放大倍數達到36萬(wan) 倍,分辨率4nm@20kV。
▲ 標配減速模式:允許弱導電樣品在不噴金的情況下進行觀察。
▲ 倉(cang) 內(nei) 攝像頭:樣品倉(cang) 內(nei) 置高清攝像頭,原位實驗時可實時監測樣品原位變化
| 環境要求 | AC220V,50Hz,1kW,無需減震台 |
| 加速電壓 | 3kV~20kV連續可調,1kV步進 |
| 電子槍 | 預對中鎢燈絲,一體式聚光鏡,無需手動調節物鏡光闌,可選配LaB6燈絲 |
| 放大倍數 | 25~360000倍 |
| 分辨率 | 5nm |
| 探測器 | 二次電子探測器、四分割背散射電子探測器、集成式能譜儀(選配) |
| 樣品台 | 三軸:X:60mm,Y:60mm,T:+45 五軸(選配):X:90mm,Y:50mm,Z:25mm,R:360°,T:-10-90° |
| 超大樣品艙 | 長185mm*寬176mm*高125mm |
| 真空模式 | 高真空模式:換樣時間30s;低真空模式(選配):1-60Pa自動控製 |
| 成像模式 | 視頻模式:512x512像素,無需小窗口掃描 快掃模式:512x512像素 慢掃模式:2048x2048像素 圖像格式:BMP,TIFF,JIPEG,PNG |
| 導航功能 | 光學相機導航,艙內攝像頭,可實時觀察樣品艙內情況 |
| 自動功能 | 一鍵自動配置亮度、對比度、自動聚焦等 |
| 尺寸 | 主機:650x370x642(mm) |
| 擴展功能 | 兼容多種原位功能樣品台(TEC冷台、加熱台、拉伸台等) |
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