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半自動台階儀

半自動台階儀(yi) JS100B提供兩(liang) 個(ge) 彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

  • 型號:JS100B
  • 品牌:ZEPTOOLS
  • 特點:半自動台階儀JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。
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半自動台階儀(yi) JS1000B提供兩(liang) 個(ge) 彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

半自動台階儀(yi) JS1000B

產品特色

01雙攝像頭設計，既可清晰無變形的觀察樣品，又可實時監測探針掃描狀態。

02花崗岩龍門架結構，提供高剛性的支撐，保證測量穩定性。

03光柵尺閉環反饋樣品台，重複定位精度優(you) 於(yu) 5um。

04高精度微力傳(chuan) 感器與(yu) 微動掃描器，提供高的測量精度和重複性。

05采用金剛石探頭，提供不同規格。

產品應用

刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

薄膜多晶矽等粗糙度、翹曲度等材料表麵參數測量

各式薄膜等應力測量

3D掃描成像

計劃任務和多點掃描

產品組成

XY電動/自動載物台

R電動/自動載物台

探針納米粗調細調台

Z電動/自動載物台

掃描台

相機×2

技術參數

技術參數說明
樣品單片(厚度≤10mm)
晶圓尺寸≤150mm/200mm/300mm
重複性測量偏差≤0.5nm(1σ1um標準塊重複掃描30次)
最大測量範圍80um
垂直分辨率0.05nm滿量程
探針加力範圍0.5~50mg
力控製恒定
采樣速度200Hz
最大掃描長度55mm
掃描方向左右雙向
掃描最大采集點數200萬點
掃描速度5um/s -100um/s
樣品台運動方式可實現水平(XM),旋轉(RZ)電動控製
XY行程>150mm/200mm/300mm
XY重複定位精度±3um
Z行程10mm
樣品旋轉台±360°，0.01°分辨率
標準探針曲率半徑>2um角度60°(標配)
亞微米探針曲率半徑≤1um角度60°(選配)
軟件功能台階、粗糙度等表麵形貌測量，應力測量和3D掃描成像

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