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全自動台階分析儀

全自動台階分析儀(yi) JS3000B提供兩(liang) 個(ge) 彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

  • 型號:JS3000B
  • 品牌:ZEPTOOLS
  • 特點:全自動台階分析儀JS3000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。
獲取資料

全自動台階分析儀(yi) JS3000B擁有高精度、高分解能力，搭配一體(ti) 花崗岩結構，提供穩定可靠的重複性測量。全自動台階分析儀(yi) JS3000B提供兩(liang) 個(ge) 彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

全自動台階分析儀(yi) JS3000B

產品特點

量測精確、功能豐(feng) 富、一體(ti) 式集成、模塊化設計、售後便捷、極高性價(jia) 比

產品應用

▲刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲薄膜多晶矽等粗糙度、翹曲度等材料表麵參數測量

▲各式薄膜等應力測量

▲3D掃描成像

▲計劃任務和多點掃描

▲批量測試晶圓，批量處理數據等

產品組成

▲EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲JS300B

配件

▲高度校準標樣

▲FFU模塊

▲靜電消除模塊

▲E84接口

技術參數

技術參數說明
台階高度最大範圍≤80um
台階高度重複性≤0.5nm
垂直分辨率0.05nm
探針加力範圍0.5mg~50mg
單次掃描長度<55mm
晶圓尺寸可兼容6寸、8寸Wafer
晶圓厚度≤10mm
晶圓材質矽、鉭酸鋰、玻璃等(不透明，半透明，透明)
圖像識別係統精度定位精度優於+10um
機械動作穩定性馬拉鬆傳送測試>500片
生產效率WPH≥10片(單麵量測>=5個位置)
台階高度最大範圍≤80um
標準探針曲率半徑>2um角度60°(標配)
亞微米探針曲率半徑≤1um角度60°(選配)
軟件功能數據處理:台階、粗糙度、平整度和翹曲度測量;
應力測試和3D掃描成像
數據通訊:SECS通訊接口

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